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产品信息
2018.03.08

无线监控落尘量测系统(PMS)

LTPS制程设备中 ,提升良率的重要要害为减少发尘量 ,即控制Particle爆发的数量 ,目前常用的方法为人员携带Particle counter针对所需要的区域进行量测 ,此方法常需要泯灭相当的时间与人力 ,且在stocker区域 ,2米以上的空间对量测人员而言 ,有位置及高度的危险限制 ,因此 ,bbin宝盈推出可无线监控 ,随者设备移动的落尘量测设备 ,无线监控落尘量测系统(PMS-Particle Measuring Systems简称PMS) ,PMS特点为Cassette外型 ,可随者设备移动至任何需要量测的所在 , PMS除可量测Particle数据外 ,也同时搭配振动量测的加速规与风速计、温湿度计等数据计器 ,由于Particle counter置于等同cassette巨细尺寸的框体 ,可延伸量测cassette多点位置 ,藉由得知安排于cassette内的玻璃 ,各个位置点的落尘数值 ,PMS嵌入式系统卖力讯号收集 ,并响应 Client 端的要求实时回传数据 ,获得的数据数据 ,可转换成图形剖析 ,在各设备间的落尘收集、剖析、大数据等用途上 ,PMS提供更便捷、实时、完整数据的解决计划。
 
无线监控落尘量测系统(PMS)
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