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产品信息
2016.11.07
OHS-自由换轨的转向机构
bbin宝盈为六代LTPS制程开发OHS车辆搬运系统(Over Head System) ，以验证Class 10 0.1um洁净度需求设置。
OHS 为Stocker外围整合的重要角色 ，主要卖力每一座Stocker制程与制品的运送与治理 ，其运送物为玻璃卡匣(Cassette) ，在Stocker之间运送全由高架组成 ，节省AMHS 占用空间、降低AMHS 建置本钱、提高搬运可靠度及缩短产品产出时间 ，实现Class 10 0.1um洁净度控制。
OHS 为Stocker外围整合的重要角色 ，主要卖力每一座Stocker制程与制品的运送与治理 ，其运送物为玻璃卡匣(Cassette) ，在Stocker之间运送全由高架组成 ，节省AMHS 占用空间、降低AMHS 建置本钱、提高搬运可靠度及缩短产品产出时间 ，实现Class 10 0.1um洁净度控制。
本设备主要配置为OHS 车体、转向机构及轨道系统 ，OHS车辆搬运系统主要为车体结构及2组可回转的转向车架 ，在不同处以转向机构夹持轨道 ，以达身不同过弯的功效 ，并且能制止爆发灰尘 ，以抵达洁净度的要求。该转向机构可决定车辆直行或在不同处转弯 ，使长程运送的历程中 ，车辆可以选择分岐处作为折返的功效 ，大幅缩减车辆循环运行所需的时间 ，并提高稼动率。