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产品信息
2016.11.07

OHS-自由换轨的转向机构

bbin宝盈为六代LTPS制程开发OHS车辆搬运系统(Over Head System),以验证Class 10 0.1um洁净度需求设置 。

OHS 为Stocker外围整合的重要角色,主要卖力每一座Stocker制程与制品的运送与治理,其运送物为玻璃卡匣(Cassette),在Stocker之间运送全由高架组成,节省AMHS 占用空间、降低AMHS 建置本钱、提高搬运可靠度及缩短产品产出时间,实现Class 10 0.1um洁净度控制 。
 
BBIN·宝盈集团(中国)有限公司
本设备主要配置为OHS 车体、转向机构及轨道系统,OHS车辆搬运系统主要为车体结构及2组可回转的转向车架,在不同处以转向机构夹持轨道,以达身不同过弯的功效,并且能制止爆发灰尘,以抵达洁净度的要求 。该转向机构可决定车辆直行或在不同处转弯,使长程运送的历程中,车辆可以选择分岐处作为折返的功效,大幅缩减车辆循环运行所需的时间,并提高稼动率 。
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