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产品信息
2017.06.06

洁净无尘室STOCKER-双牙叉(Twin Fork)技术

低温多晶硅(LTPS)是新一代薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)的制程 ,随着国际手机大厂大宗运用在智能型手机制程 ,连续在挑战制程良率 ,并且不绝的突破技术瓶颈下 ,已有长足的进步 ,随之而来的设备需求也逐年上升 ,为迎合LTPS市场快速生长的需求 ,bbin宝盈提供高客制化 ,弹性的搬运贮存设备 ,并开发BEOL制程切割后制品运送的双牙叉(Twin Fork)机械手臂 ,并搭载于STOCKER贮存设备。

双牙叉手臂之特点可在同储位取放两座卡匣 ,且可依制程需求先后取放卡匣 ,节省两个卡匣个体搬运的时间 ,大幅提升稼动率,在产品储量需求大的场合 ,也可运用在Dual Crane Stocker ,单线Stocker系统并用4组牙叉(SCARA FORK) ,关于产品运用及周转 ,提供相当灵活的技术。

如何提升并改善生产LTPS面板产品的良率 ,是现阶段的竞争重点 ,其中 ,如何提供高洁净度的生产、搬送及贮存情况 ,饰演着影响良率崎岖的要害角色。

由于LTPS要求的生产技术相较于一般制程 ,对无尘要求更为严苛 ,面板制程也较为庞大;bbin宝盈已完成了Class10 @0.1um动态Particle测试验证 ,目前在台湾及大陆均已有多座实绩 ,随着高区分率智能型手机的盛行 ,以及智能型手机屏幕平均尺寸的连续增长 ,LTPS面板需求将连续走高 ,bbin宝盈本着搬运设备朝向高智能 ,灵活弹性的客制需求 ,为面板制程良率提升孝敬一己之力。
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