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2017.06.16

洁净室超薄玻璃气浮传送系统

随着面板日益升高的市场需求,使得玻璃基板需求越来越多,因应这庞大的市场需求,各面板厂商无不为了提高生产产量及生产效率,乃至玻璃基板的生长朝向更大尺寸的开发 。全球各大面板厂都积极开发跨世代产品,从3.5代(600mm×720mm)、5代(1100×1300mm)、6代(1500×1850mm)、7.5代(1950×2250mm)、8.5代(2200×2500mm)、sharp位于大板府堺市的堺工厂进行的10代(2850×3050mm)厂的建置、到目前BOE 10.5代(2940×3370mm)、CSOT 11代(2940×3370mm),可显现出各家面板大厂都积极开发更大世代面板开爆发产,同时也反应出各面板厂的技术生长领先水平 。但在这背后,玻璃基板的尺寸面积一直扩大及变薄,在制程历程中,玻璃的贮存、搬运、包装的稳定性都将受到极大的挑战 。

目前业界TFT-LCD玻璃基板在生产历程是接纳移载平台(滚轮式)接触式作业,此作业方法容易引起玻璃基板背面的刮伤、污染等问题,进而影响生产良率与质量,大幅增加生产本钱 。因应上述问题,bbin宝盈凭借着多年在面板工业导入生产自动化的设计的经验,突破技术上的限制,自行研发出洁净室超薄玻璃气浮传送系统(图一) 。

有别于目前工业界上的气浮输送机,bbin宝盈洁净室超薄玻璃气浮传送系统可分为以下几项优势:
  1. 机种多样化:目前业界上的气浮输送机,只能对应直线输送,而bbin宝盈洁净室超薄玻璃气浮传送系统利用伯努力吸震及3D气流设计,在玻璃基板与气浮板之间制造出3D气流,使玻璃基板在传输历程中,能够更稳定的输送,不会受到外部情况气流的影响 。因此无论是直线输送、上升、下降,转向等输送都能对应,且由于3D气流的设计,使气浮板间的距离最大能扩大到250mm(如图二),能够对应机械手臂夹爪的取放,同时也能对应wire cassette设计 。
  2. 智能、节能:bbin宝盈洁净室超薄玻璃气浮传送系统接纳日本DC无刷电扇,高稳定、高效能、高寿命及低耗能,且每具电扇皆独力控制,透过传感器配合智能控制,在无玻璃基板流过时,能自动降速,待传感器侦测到玻璃基板流入时,会再次启动,抵达节能目的 。另外,bbin宝盈洁净室超薄玻璃气浮传送系统都有导入智能监控系统,透过监控电扇的运转效率、风压的输出是否正常,来确保玻璃基板能在稳定的状态下输送,预防及制止机台确当机,导致玻璃基板毁损,造成本钱上的浪费 。
  3.  
bbin宝盈洁净室超薄玻璃气浮传送系统
图一、bbin宝盈洁净室超薄玻璃气浮传送系统
 
气浮板间的距离最大能扩大到250mm
图二、气浮板间的距离最大能扩大到250mm
 
以目前的趋势显示出,气浮输送机将成为未来大尺寸玻璃基板移载输送的主流技术,bbin宝盈洁净室超薄玻璃气浮传送系统更是在此项技术上领域上领先各家厂商,在未来不但在玻璃基板的移载,此项产品更可以广泛运用到其他工业产品,例如半导体晶圆、太阳能面板等搬运系统中 。bbin宝盈自动化在工业界上,经过数十年经验上的累积,不绝精进技术,配合主顾的需求,研发设计出切合主顾的产品,并秉持着「第一次就完全做对」的严谨态度,提供客户最完善的计划效劳,满足客户的需求,并成为客户最信任的同伴 。
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