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产品信息
2016.05.24
晶圆盒机械人智能传送系统
在半导体厂内，晶圆多是置于晶圆盒内，在各厂区及各制程设备间传送。以人力传送方法多保存不可控制的危害，因此搭配稳定成熟的机械手臂传送系统取代古板的人工传送方法已成趋势。
bbin宝盈自动化累积逾多年的机械手臂应用及系统整合经验，能依照厂地空间、作业模式、系统功效、产能速度等需求条件，为客户建置切合宁静、洁净、精准、高效率且具备智能化的传送系统。
以下为实绩规范特点介绍 :
- 跨楼层传送整合，客制化设计，包括Lifter、ROBOT的制程链接整合传送系统。
- 上下楼层各设置ROBOT，搭载bbin宝盈设计的专用夹持机构，能很是稳定的进行晶圆盒的取放作业。
- 具传送历程确保洁净度之对策。
- 系统判读Bar code确保正确地传送。
- 远程监视功效可实时掌握设备异常状态，缩短排除异常的时间。
- 自动/手动运转及自动/人工投料等多重模式可供选择切换。
- 全方位宁静装置，确保人员、工具、设备宁静。