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产品信息
2022.12.07

ZIP STK 半导体光罩贮存新应用

BBIN·宝盈集团(中国)有限公司

bbin宝盈(集团)近年来年连续耕作半导体工业,因应产线制程多变及园地条件限制等市场需求开发出ZIP STK贮存设备,并乐成导入至半导体封测大厂,可有效运用厂房内的畸零空间,增加单位面积的贮存坪效;并且可依照客户制程需求贮存Foup/ Fosb/Tray等各式载具,提供晶圆制造厂客户客制化解决计划。
随着半导体朝微小化进展加上连续推进摩尔定律,现都接纳先进曝光制程,随着曝光层数越来越多,每增加一层就需增加多个光罩。其中光罩的存放条件,直接影响到生产的良率,且无尘室情况坪效亦影响到晶圆代工厂的本钱及效益,在此配景之下为解决客户端贮存光罩问题。bbin宝盈于2021年开发出ZIP STK存放光罩盒之新应用。

设计特点:
  1. 切合SEMI S2规范。
  2. 透过要害零组件及材质选用、设计公差与精密加工等来确保组装精度,并且藉此提升STK主机Z轴的作业高度,以增加笔直偏向的储位数。
  3. 取放精度 ≤ 0.5mm;震动值 ≤ 0.3G,确保光罩盒在搬送历程中制止因晃动造成光罩的损坏。
  4. 主机设计上利用旋转升降设计接纳环形储位增加贮存坪效。尺寸2700mm*2400mm,可有效使用厂内畸零空间;随着产能需求增加,bbin宝盈ZIP STK设备可?榛,弹性扩充贮存数量;蚩山ㄖ糜谄毓馍璞概;依IC设计厂客户下单方法专线使用,便于晶圆制造厂治理。
  5. 善用bbin宝盈系统整合能力设计,可自动串接OHT、AGV等种种AMHS设备,并实时上传帐料信息,降低人员操作失误;同时透过自动化设备搬送,可提高生产设备稼动率并确保产品质量。
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