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OHT 空中走行式搬送系统
bbin宝盈自制的高空走行式无人搬运车（OHT）为高架搬送系统 ，主要搬运Foup至各制程设备间的Load/Unload Port ，OHT夹取Foup于高空轨道输送系统上行进 ，除可有效节省及利用空间外 ，另比照古板人工搬送作业流程 ，更能大幅提高搬送效率 ，节省搬送时间 。在不占用人员走道的前提下以及厂房高度约2.7米左右即可导入 ，将无尘室内的空间使用率最大化 。藉由高空走行式无人搬运车可以直接存取Stocker load port上的货物 ，不受运行路线上的机台/人员等障碍物干预 。
OHT属于悬吊式空中搬运系统 ，配合客户需求将晶圆盒(FOUP)在差别的制程区间或是跨厂区栋别进行勾通搬送 。由于不须透过Stocker作为中转站 ，全厂性的OHT运用可实现EQ to EQ的直接搬送 ，大幅缩短载具运输时间与产品周期时间(Cycle time) 。
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