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EFEM 高速晶圆/载板传送设备

EFEM(Equipment Front End Module)为半导体Loader/Unloader  ,可为差别晶圆尺寸提供设备前端上/下料之自动化 ?。bbin宝盈EFEM可以完全满足客户制程机台需求与限制 ,开发出适用300mm/ABF/FPLP半导体制程设备之自动化需求。

过去端机械人之选用, EFEM与主机台物流方法, SECS/GEM与上位系统的相同与BC(Block Control)整合 ,bbin宝盈拥有经验极富厚的工程人员 ,可大幅降低客户导入EFEM危害及导入时间。
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